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各種氣體的純度指標

更新時間:2019-05-23    點擊次數(shù):2568

氣體種類

項目

指標

優(yōu)等品

一等品

合格品

高純氮

氮氣純度, 10-2(V/V)           

99.9996

99.9993

99.999

氧含量,10-6(V/V)              

1.0

2.0

3.0

氫含量,10-6(V/V)              

0.5

1.0

1.0

CO、CO2、CH4總含量,10-6(V/V)

1.0

2.0

3.0

高純氬

氬純度, 10-2(V/V)             

99.9996

99.9993

99.999

氮含量,10-6(V/V)              

2

4

5

氫含量,10-6(V/V)              

0.5

1

1

總碳含量(以甲烷計)10-6(V/V)

0.5

1

2

高純氦

氦氣純度, 10-2(V/V)           

99.9996

99.9993

99.999

氫含量,10-6(V/V)             

0.1

0.5

1

氧(氬)含量10-6(V/V)       

0.5

1

1

氮含量,10-6(V/V)             

1

1

2

一氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.1

0.2

0.5

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.2

0.2

0.5

甲烷含量,10-6(V/V)           

0.1

0.2

0.5

高純氫

氫純度, 10-2(V/V)             

99.999

氧(氬)含量10-6(V/V)       

1

氮含量,10-6(V/V)             

5

一氧化碳含量,10-6(V/V)       

1

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

1

甲烷含量,10-6(V/V)           

1

超純氫

氫純度, 10-2(V/V)              

99.9999

氧(氬)含量10-6(V/V)       

0.2

氮含量,10-6(V/V)              

0.4

一氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.1

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.1

甲烷含量,10-6(V/V)           

0.2

高純氧

氧純度, 10-2(V/V)              

99.999

99.998

99.995

氬含量,10-6(V/V)             

2

5

10

氮含量,10-6(V/V)             

5

10

20

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.5

1

1

總碳含量(以甲烷計)10-6(V/V)

0.5

1

2

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